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毕竟多光刻领域的从业人员不还有ArF这条技术线。
林坚说：“ArF的波长是193nm，而KrF光源的波长是248nm，较短的波长有助于实现更的分辨率和更精细的图案。”
周问：“是ArF他在具处更的节点的时候，会出现更多的线波动和不规则。
虽ArF波长更短，是的不可控更。
这对于工业生产来说是大忌。这才是为什尼康也，ASML也，在尝试过ArF后，不愿继......续朝着这个方投研发成的要吧。”
周话音刚落，林坚脸色大变，周ArF和KrF，这他能。
为这是发在开刊上的内容，凡对光刻感兴趣的人，有会阅读到。
是周能够准确说出不往ArF方投的，即便从业人员，没有办的内容。(suya/66/66927/)续朝着这个方投研发成的要吧。”
周话音刚落，林坚脸色大变，周ArF和KrF，这他能。
为这是发在开刊上的内容，凡对光刻感兴趣的人，有会阅读到。
是周能够准确说出不往ArF方投的，即便从业人员，没有办的内容。(suya/66/66927/)