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“怎采用ArF技术会造成更多的线边波动和不规则？
关于ArF技术线，在IEEE的杂志上有，是无论是尼康还是佳能的工师发在上面的论，说了处没有说缺陷。”林坚惊讶地问。
周说：“尼康和佳能为了误导竞争对，故不谈ArF技术线的缺点。
为的就是让竞争对也踩到这个坑里。
他们已经投了大笔研发经费到ArF技术线，没有找到办决ArF光源带来的线边波动和不规则问，所以他们认为他竞争对也决不了这个问。”
林坚默默点头：“没错。
就是这样。”
周继续说：“在技术线上误导竞争对，这不是集成电领域的规操作吗？”
林坚还是奇，他ArF技术线的缺陷，是为他从这個领域的研究超过年，他有大的人脉。
于保密协议的缘故，他的朋友无告诉他，能过暗示的方，他透露ArF技术线有大缺陷。
他对也是猜测，没有证据的猜测。
为什周能够说如笃定，且ArF技术线的缺陷也说如清楚。
要有资格进行ArF技术线实验的实验室，也就光刻司。
周战术喝后说：“林伯，我在什，我是不是买了尼康的技术人员，从他们获了技术密。
实际上ArF技术线的缺陷，这容易就推出来。
ArF光源的波长为193纳米，较于KrF光源的248纳米波长更短。短波长光源在光刻过中，显会受到更严的散射、衍射和光学近场效应的影......发更ArF技术线。
我们刚刚说的是ArF的缺点，这缺点是暂时的。
在KrF光源替g线和i线的过中，同样有多困难。”