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第一百三十一章 光刻机技术路线(3/5)

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  招到周这样的学生是胡的福,林坚从来不认为己能和周产生什交集。
  是没到这他来旧金参光学大会,胡会帮周约他一吃个饭。
  无论他怎,林坚也能到对方确实有学术上的问......要当面请教他。
  林坚客:“Newman,他做的主要是在半导元器领域的研究,当也包括EDA电设计和模拟IC。
  我是他的学生,发的论我也过,实际上也是半导元器方的内容,我主要做的是光学和半导的叠方。
  出的问,我不一定能够答上来。”
  从学术地和年纪上来说,林坚要周更,从会地上来说,周无疑太多。当不该如何称呼对方的时候,称呼对方的英名总没错。
  周:“我的研究方,一在IBM工作,做紫光的光刻研究。离开IBM己创业,从的也是光刻领域的研究。
  莪近对光刻感兴趣,所以和辈聊聊。”
  林坚的中说不太,人是用英交。
  “现在光刻的主光源采取的是KrF,是辈一认为ArF才是未来的发方。
  实际上工业界没有谁采用ArF,无论是尼康还是佳能,他们一在KrF上投研发经费。
  我为什辈这ArF。”
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