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“,开始吧。”
“大少来按啟动按钮吧。”
“不用了,不用了,谁离得近谁按,要不是有点急,我不来这裡凑热闹了。”
终,站在光刻旁边的聂晓按下了设备的工作健。
港集电目的光刻大概能有七八方米大,设备近似於一个超大的黑箱,晶片曝光时的过肉眼不见,设备工作更没什麼声响,虽晶片和航是人类的尖端科技,论视觉效这两简差地。
於不需要整个晶圆的面积全生產用上,光刻曝光了十就停止了工作,在电的推动下工作台缓缓的从光刻中退出,开始晶圆后续工艺推送。
曝光后是显影,显影后是坚膜,再后工艺进了检测序,这步工艺是对晶圆的显影结进行检测,格的晶圆进后续的刻蚀,不格的晶圆在清洗后进初来过。
不过对於实验室中的眾人来说,检测这一步乎就足够判定方法的生死了,在电子显微镜下成与不成一目瞭。
梁远是啥不懂,能著王欣坐在检测设备过电子显微镜观察著刚刚出炉不久的晶圆。