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这时候就出来火炬计划的处了,5微米的线宽落伍,港集电已经彻底吃透了整条技术线上的所有环节。
晶圆丢裡光刻似简单,已经涉到光刻光源功率调整和工作台运行速率间的协调,未来一台精光刻的安装调整测试码需要一年时间,虽有海故设卡和工作效率不的缘故,也足以说这玩究竟会有多麻烦。
若没彻底吃透技术光这点调整就束无策,如依赖海的技术人员丢裡光刻这个秘密压就没法保密。
这一白的时间过,一个经过审核的可靠技术组已经成,晶片的中试环节如用互联网时的说法来容大约和不删档测类似,除了不能上和保持随时可以整改,和批生產没什麼质区。
这中试港集电抽调了一条已经能运行的5微米生產线,临时用玻璃了一个装载轻的容器在工作台上,技术大佬三人组一上阵带著十多个技术人员调整了光刻的功率,於不需要批生產的缘故,较為麻烦的工作台运行速率调整可以不动。
略装轻的设备除尘环节不,东拉到科技园后梁远和已经从学校来的双胞胎食堂吃晚饭,后到科技园开始了进车间的“消毒”步骤。
於这实验对环境的要当的缘故,梁远和双胞胎得穿顶级的防尘服,带密封的玻璃护目镜整个头罩脑袋扣上呼吸器材过滤的种。